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| 基本情報 |
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| 氏名 |
佐藤 泰史 |
| 氏名（カナ） |
ｻﾄｳ ﾔｽｼ |
| 氏名（英語） |
Sato Yasushi |
| 所属 |
理学部 化学科 |
| 職名 |
教授 |
| researchmap研究者コード |
6000010708 |
| researchmap機関 |
岡山理科大学 |
Oxidation Resistance of Ti?Si?N and Ti?Al?Si?N Films Deposited by Reactive Sputtering Using Alloy Targets
12. K. Takahashi, N. Oka, M. Yamaguchi, Y. Seino, K. Hattori, S. Nakamura, Y. Sato, and Y. Shigesato
Oxidation Resistance of Ti?Si?N and Ti?Al?Si?N Films Deposited by Reactive Sputtering Using Alloy Targets
12. K. Takahashi, N. Oka, M. Yamaguchi, Y. Seino, K. Hattori, S. Nakamura, Y. Sato, and Y. Shigesato
Japanese Journal of Applied Physics
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