佐藤　泰史（ｻﾄｳﾔｽｼ）

論文

基本情報

氏名	佐藤　泰史
氏名（カナ）	ｻﾄｳﾔｽｼ
氏名（英語）	Sato Yasushi
所属	理学部化学科
職名	教授
researchmap研究者コード	6000010708
researchmap機関	岡山理科大学

題名

Effects of Energetic Ion Bombardment on Structural and Electrical Properties of Al-Doped ZnO Films Deposited by RF-Superimposed DC Magnetron Sputtering

単著・共著の別

著者

N. Ito, N. Oka, Y. Sato, and Y. Shigesato

概要



Effects of Energetic Ion Bombardment on Structural and Electrical Properties of Al-Doped ZnO Films Deposited by RF-Superimposed DC Magnetron Sputtering

発表雑誌等の名称

 Japanese Journal of Applied Physics

出版者

巻

号

7R

開始ページ

071103_1

終了ページ

071103_5

発行又は発表の年月

2010/07

査読の有無

有り

招待の有無

無し

記述言語

英語

掲載種別

研究論文（学術雑誌）

基本情報

題名

単著・共著の別

著者

概要

発表雑誌等の名称

出版者

巻

号

開始ページ

終了ページ

発行又は発表の年月

査読の有無

招待の有無

記述言語

掲載種別

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

arXiv ID

ORCIDのPut Code

DBLP ID