講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

Influeence of amorphous carbon film deposition on source gases

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
Plasma Science Syimposium 2009 / The 26th Symposium on Plasma Processing (SPP-26)

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2009/02

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
ポスター発表

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
名古屋大学

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要