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基本情報 |
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氏名 |
中谷 達行 |
氏名(カナ) |
ナカタニ タツユキ |
氏名(英語) |
Nakatani Tatsuyuki |
所属 |
機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研 |
職名 |
教授 |
researchmap研究者コード |
B000236977 |
researchmap機関 |
岡山理科大学 |
Discharge Characteristics of DLC Films using HF-HiPIMS Method
Hiroyuki Fukue, Tadayuki Okano, Masahide Kuroiwa, Tatsuyuki Nakatani
14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14) / 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26)
Sendai International Center, Sendai, Japan,
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