講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

Development of DLC Deposition Technology using HF-HiPIMS Power Supply System

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
H. Fukue, T. Okano, M. Kuroiwa, S. Kunitsugu and T. Nakatani

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
28th Annual Meeting of MRS-J, C-3:Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma Technologies

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2018/12

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						
国内会議

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
ポスター発表

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
Kitakyushu, Japan

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要