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| 基本情報 |
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| 氏名 |
中谷 達行 |
| 氏名（カナ） |
ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ |
| 氏名（英語） |
Nakatani Tatsuyuki |
| 所属 |
機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研 |
| 職名 |
教授 |
| researchmap研究者コード |
B000236977 |
| researchmap機関 |
岡山理科大学 |
Evaluation of unexpected arc discharge characteristic of DLC films formation using HF-HiPIMS power supply
H. Fukue, UT. Okano, M. Kuroiwa, S. Kunitsugu, H. Oota, K. Yonezawa, T. Nakatani
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) / The 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Hokkaido, Japan
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