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| 基本情報 |
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| 氏名 |
中谷 達行 |
| 氏名（カナ） |
ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ |
| 氏名（英語） |
Nakatani Tatsuyuki |
| 所属 |
機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研 |
| 職名 |
教授 |
| researchmap研究者コード |
B000236977 |
| researchmap機関 |
岡山理科大学 |
Methane flow rate dependence of plasma emission in DLC films formation using reactive bipolar HiPIMS method
Hiroyuki Fukue, Tadayuki Okano, Masahide Kuroiwa, Shinsuke Kunitsugu, Hiroki Oota, Ken Yonezawa, Tatsuyuki Nakatani
The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-11)
The Kanazawa Chamber of Commerce and Industry, Kanazawa, Japan
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