講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

Development of TiC Thin Film using Cathodic Arc Ion Plating

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
The 30th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-29)/Materials & Processes for Advanced Microlithography, Nanotechnology and Phototechnology

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2013/06

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
口頭発表(招待・特別)

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
Chiba,Japan

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要