講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

プラズマCVD法を用いたアモルファス炭素膜の堆積過程の赤外分光法観察

講演者

会議名

第23回九州・山口プラズマ研究会

開催年月日

2007/11

招待の有無

記述言語

発表種類

会議区分

会議種別

口頭発表(一般)

主催者

開催地

九州大学

URL

概要