論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

Deposition and Characterization of Medical ta-C:H Film using Arc Discharge in CH4 /Ar Gas Mixtures

単著・共著の別

著者

Shinsuke KUNITSUGU, Michio WAKAE and Tatsuyuki NAKATANI

概要




発表雑誌等の名称

Proceedings of the 8th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2016)

出版者

開始ページ

07P25

終了ページ

発行又は発表の年月

2016/03

査読の有無

招待の有無

記述言語

英語

掲載種別

研究論文(国際会議プロシーディングス)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

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