小特集「高電力パルススパッタ(HiPIMS)」医療用ダイアモンド状炭素(DLC)成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)用パルス電源の開発
黒岩雅英,中谷達行
Journal of the Vacuum Society of Japan
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