論文

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

Influence on discharge properties with the reactive gas in the DLC film formation using the HiPIMS method

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						


Masahide Kuroiwa, Tadayuki Okano, Tatsuyuki Nakatani, Hiroyuki Fukue


					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
Proceedings of the plasma conference 2017

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
24P-31-1

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
24P-31-2

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
2017/11

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（国際会議プロシーディングス）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID