論文

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

Pressure gradient sputtering technology (PGS:High vacuum sputtering)

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
Ken Yonezawa, Hiroki Oota, Jun-Seok Oh, Kazunori Koga, Tatsuyuki Nakatani, Masafumi Ito, Masaharu Shiratani

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						





					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
PROCEEDINGS of The 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019)

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
39

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
41

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
2019/06

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（国際会議プロシーディングス）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID