論文

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

Difference of deposition process of an amorphous carbon film due to source gases

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
Masanori Shinohara, Hiroki Kawazoe, Takanori Inayoshi, Taka-aki Kawakami Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama, Yuuki Nitta, Tatsuyuki Nakatani

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						





					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
Thin Solid Films

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						
518

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						
13

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
3497

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
3501

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
2010/00

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						
有り

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（学術雑誌）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID