論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy

単著・共著の別

著者

M. Shinohara, K. Cho, H. Shibata, K. Okamoto, T. Nakatan, Y. Matsuda, and H.Fujiyama

概要




発表雑誌等の名称

Thin Solid Films

出版者

516

13

開始ページ

4379

終了ページ

4383

発行又は発表の年月

2008/00

査読の有無

有り

招待の有無

記述言語

英語

掲載種別

研究論文(学術雑誌)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

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URL

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DBLP ID