論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察,表面科学

単著・共著の別

著者

篠原正典,松田良信,藤山 寛,中谷達行

概要

発表雑誌等の名称

表面科学

出版者

31

3

開始ページ

156

終了ページ

161

発行又は発表の年月

2010/00

査読の有無

有り

招待の有無

記述言語

日本語

掲載種別

研究論文(学術雑誌)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

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DBLP ID