論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察,表面科学

単著・共著の別

著者

篠原正典,松田良信,藤山 寛,中谷達行

概要

発表雑誌等の名称

表面科学

出版者

31

3

開始ページ

156

終了ページ

161

発行又は発表の年月

2010/00

査読の有無

有り

招待の有無

記述言語

日本語

掲載種別

研究論文(学術雑誌)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

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DBLP ID