中谷　達行（ﾅｶﾀﾆﾀﾂﾕｷ）｜論文

論文

基本情報

氏名	中谷　達行
氏名（カナ）	ﾅｶﾀﾆﾀﾂﾕｷ
氏名（英語）	Nakatani Tatsuyuki
所属	研究社会連携機構ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名	教授
researchmap研究者コード	B000236977
researchmap機関	岡山理科大学

題名

Inner Wall Coating of Narrow Tube by Low-pressure and High Frequency Microplasmas

単著・共著の別

著者

Y. Nitta, H. Uchida, T. Nakatani, H. Fujiyama

概要

The 6th International Conference on Reactive Plasmas /23rd Symposium on Plasma Processing

発表雑誌等の名称

Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas /23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6 / SPP-23)

出版者

巻

号

開始ページ

終了ページ

発行又は発表の年月

2006/01

査読の有無

招待の有無

記述言語

英語

掲載種別

研究論文（国際会議プロシーディングス）

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

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URL

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