特許等
名称
発明者
出願番号
出願日
公開番号
公開日
公表番号
公表日
特許番号
発行日
出願人
JGlobalID
概要
URL
基本情報
氏名
中谷 達行
氏名（カナ）
ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語）
Nakatani Tatsuyuki
所属
研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名
教授
researchmap研究者コード
B000236977
researchmap機関
岡山理科大学
名称
スパッタ装置用カソードユニット
発明者
米澤健，高橋希世美，太田裕己，呉準席，伊藤昌文，古閑一憲，白谷正治，中谷達行
出願番号
特願2018-27964
出願日
2018/02
公開番号
公開日
公表番号
公表日
特許番号
発行日
出願人
JGlobalID
概要
URL
