講演・口頭発表等

基本情報

氏名 寺野 元規
氏名(カナ) テラノ モトキ
氏名(英語) Terano Motoki
所属 工学部 機械システム工学科
職名 准教授
researchmap研究者コード 7000018142
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

シリコンの微細切削における加工変質層に及ぼす高静水圧の影響

講演者

河野健太郎, 吉野 雅彦, 寺野元規

会議名

機械学会第5回マイクロナノ工学シンポジウム

開催年月日

2013

招待の有無

記述言語

日本語

発表種類

学会講演(シンポジウム・セミナー含む)

会議区分

国内会議

会議種別

口頭発表(一般)

主催者

開催地

URL

概要